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特征
应用/结果示例
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701HMCⅡ
基本规格
阴极 | φ2英寸磁控管阴极 |
快门机制 | 自动/手动操作 |
气体导入机制 | 针阀(自动/手动控制) |
真空泵 | 直连式旋转泵:100l / min(有自动泄漏) |
箱体尺寸 | 内径φ160mmx D160mm(SUS制) |
样品交换方法 | 前门开合式 |
尺寸(宽/深/高) | 机身: 360/360 / 260mm RP:174/460 / 264mm |
重量 | 身体:20公斤 RP:23公斤 |