蔡司双束电镜 Crossbeam系列
 

[产品简介]

蔡司双束电镜Crossbeam系列，是专为高通量3D分析和样品加工制备量身打造的FIB-SEM双束电镜。该系列将场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)镜筒强大的成像和分析性能与全新一代聚焦离子束(FIB)镜筒出色的加工能力相结合。无论是加工、成像或进行3D分析，都能在不损失精度的前提下，提高聚焦离子束的应用效率。模块化的平台概念可以进行后续系统升级，从而满足您不断增加的应用需求。通过加装飞秒激光（Femtosecond Laser）模块，Crossbeam的加工效率和尺度可进一步拓展，同时可以满足多种微纳加工需求。无论是在科研实验室或工业环境中工作，抑或是单用户或多用户工作环境，都能提供高质量的解决方案。
 

一、[产品特点]

1、低电压下获得高分辨率电子图像；

2、可实现大尺寸到纳米精度的切割；

3、批量自动制备TEM薄片样品；

4、Atlas 5可创建多尺度、多模式综合图像；

5、ToF-SIMS 实现高通量3D成分分析；

6、无漏磁电子镜筒实现真正边切边看；

7、不导电样品不受荷电效应影响；

8、加装飞秒激光模块，实现亚毫米级快速加工，同时有效避免腔室污染；
 

二、[应用领域]

1、生命科学，如断层扫描，三维重构；

2、电池领域，如组分表征；

3、半导体领域，如失效分析，电路修复；

4、金属领域，如界面分析，亚表面分析；

5、材料科学，如晶体微观结构分析，微纳图形加工；

6、透射电镜、原子探针（ATP）、EBSD、微纳力学等多种样品的原位制备。
 

GaN HEMT器件TEM样品制备

                                    在硅基底上加工纳米微流通道

                                       3D NAND连续层析成像

Laser大截面快速加工及IC中微柱截面背散射电子成像

                                        原子探针样品制备

                                        线虫三维成像