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数字流量控制器用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用,典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气象色谱仪以及其他分析仪器。
数字流量控制器产品特点:
1、自带显示,可独立运行;
2、质量流量控制器执行JJG1132-2017国家标准;
3、进口电磁比例阀,使用寿命更长;
4、采用RS-485通信接口,可远程组网使用;
5、紧凑型外观设计,节约更多空间;
6、内置高精度MEMS传感器,测量控制更精准;
7、所有产品均采用特定高纯气体标定,确保产品的精度;
8、可通过标定软件对MFC进行标定校准;
9、任意角度安装均不影响气体流量;
10、专业团队,提供优质服务。
数字流量控制器技术参数:
大流量:50sccm-5slpm(可定制);
气体类型:H2/He/N2/Air/Ar(可定制);
精度:±1%F.S.;
响应时间:≤1s;
气路材质:钝化316L不锈钢/铝合金表面氧化/铝合金惰性涂层;
工作温度:0~50℃;
工作湿度:0~95%R.H.(非冷凝);
电源:DC24V±10%/DC12V±10%;
信号接口:RS-485(Modbus);
尺寸:60×26×80mm。