品牌
生产厂家厂商性质
天津市所在地
气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪以及其他分析仪器。
l 产品特点
l 经济适用
l 超低功耗
l 高集成度紧凑型设计
l 多种气体校准
l RJ45（网口）通用接口
l 数字控制和模拟控制双模式
l 标准RS485 Modbus RTU通信协议
l 模拟输入1-5V/模拟输出1-5V
l 采用进口高精度传感器
l 采用进口比例阀控制
l 模糊PID算法，可更改PID控制参数
l 内置环境气压传感器
l 内置环境温度传感器
l 高重复性
l 低温度漂移
l 控制参数自整定功能
l 具有自动调零功能
l 电路防浪涌设计
l 具有故障报警功能
l 技术特点
l 微处理器控制
MFC内部采用可编程未处理器控制，使用PID控制，可实现不同工况条件下进行高速精确的流量控制。
l RS-485总线接口
MFC内置RS-485总线接口，可选择使用RS-485控制或按键控制两种模式。可通过RS-485总线组网，实现多台MFC同时控制。
l 便捷标定方法
可通过专用标定软件对MFC进行标定，只需将MFC通过RS-485总线与PC连接即可进行标定。
l 紧凑的外形尺寸
MFC尺寸非常小巧紧凑，用户使用时，不但能够减小系统体积和重量，同时能够集成更多的功能模块。
l 多气体多量程选择
MFC可选择多种气体种类（H2、N2、Air、He等），用户可根据用户手册及使用需求进行操作选择。同时，本公司提供不同量程MFC产品，用户可根据需求进行选。
l 应用范围
l 气象色谱仪
l 环保监测设备
l 制气配气
l CVD材料制备装置
l 半导体/光伏设备
l 生物发酵/医疗仪器
l 其他实验室分析仪器
l 技术参数
| 项目 | 参数信息 |
| 最大量程 | 50sccm~20slpm(可定制) |
| 精度 | ±1%F.S. |
| 线性 | ±1%F.S. |
| 重复精度 | ±0.2%F.S. |
| 气体类型 | H2/He/N2/Air/Ar（可定制）） |
| 响应时间 | 1s |
| 压差范围 | <1MPa |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 工作湿度 | 0~95%R.H.（非冷凝） |
| 工作电压 | 24V±10%/12V±10% |
| 信号接口 | RS-485（Modbus），模拟电压信号 |
| 气路材质 | 不锈钢/铝合金/铝合金惰性涂层 |
| 气路接口 | 1/16 |
| 尺寸 | 50×24×55mm |
l 外形尺寸
单位：毫米（mm）
l 接口定义
l 产品选型
感谢您购买使用吉思特GT180质量流量控制器(MFC)。
本手册描述了GT180质量流量控制器功能、性能以及使用产品达到最佳使用效果的应用方法。
请在使用该产品时注意以下事项：
l 在使用该产品前应通读并理解本手册以确保正确的使用。
l 使用该产品人员应具有基本的电气系统知识。
l 请妥善保管本手册以确保在需要时可以随时查阅。
注意事项
l 通电期间，请勿触碰端子。
l 不得让金属物体、导线、液体等进入控制器，否则引起设备短路、触电或火灾等危险事件。
l 请勿将本产品置于易燃易爆等场合。
l 绝对不要拆卸、改装以及修理该产品或解除任何内部元件。
l 请设定适合系统控制使用的产品参数。如果设定不当，可能会因意外操作而造成财产损失或事故。
l 请在规定的时间内对该设备进行标定，以确保设备的准确性。
l 设备通电前，请确认接线是否正确，供电电压是否符合使用手册要求。
l 使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时，须在气路中加装过滤器等。
l 使用前，请确认使用气体是否与标定气体相符，以免导致流量数据错误。
l 请勿使用腐蚀性气体，以免MFC气路损坏。
保修与服务
l 本公司生产的MFC产品在出货1年以内，如果用户按照使用手册正常使用，且产品没有遭受物理损害、污染、改装或翻新，若有问题，免费维修。
l 免费维修范围，不包含气路接头及气路接头密封圈。
l 请收到产品后及时对产品进行验收，出现问题请及时反馈销售人员。
l 保修期内，产品必须由本公司或授权的服务中心修理。
l 用户使用过有毒、有污染或腐蚀性气体的产品，本公司将不负责修理或保修。
l 输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的最大压力。
l 产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，由于不正确的使用所导致的损害不能归咎于本公司。
l 禁止自行拆开MFC。如果自行拆卸造成损坏，则本公司承诺的保修无效。
天津吉思特仪器仪表有限公司
