喜讯！武汉颐光科技有限公司荣获2019年度湖北省技术发明一等奖
时间：2020-08-12 阅读：374
穆勒矩阵椭偏仪广泛应用于IC制造、平板显示、光电子器件、光伏太阳能、柔性电子等国家新兴战略产业中的纳米材料、纳米结构与纳米器件的基础科学研究、制造工艺优化、量产在线监测等诸多环节，在*具有战略意义。
“高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏测量关键技术与纳米测量应用”项目所研发的穆勒矩阵椭偏仪代表了椭偏仪技术的高水平，其研制过程主要面临宽光谱全穆勒矩阵偏振调制技术、穆勒矩阵椭偏测量系统参数精密校准与误差修正技术、复杂纳米结构薄膜椭偏测量理论与方法三个方面的技术挑战，由华中科技大学与武汉颐光科技有限公司历时10余年攻克技术难关，在*国家重大科学仪器设备开发专项、国家863计划、国家自然科学基金等多个*项目支持下，通过原理创新，成功研制出我国*台具有*自主知识产权的高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪，实现了成果转化与产业化。