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如果实验样品需要在不同温度下进行分析测量，这时就可能需要热吸盘(Hot Chuck)或者低温(Cryogenic)系统,
在较高温度或低温下还可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。
热吸盘(Hot Chuck)
1.采用低噪声直流驱动
2.绝缘套件用于低电流(pA)测试
3. 配备水冷装置，快速将加热卡盘降至室温
4. 大多数探针台可安装
5. 不需特殊连接适配器即可安装
6. 卡盘材质为不锈钢，以获取均温性，避免重金属沾污
7. 配备温度控制器，可选多种加温曲线
8. 设计有冷却隔绝装置，热吸盘温度不会通过金属传导而引起探针台整体精度下降
加热卡盘规格：
卡盘尺寸 | 3”, 4'', 6'', 8'', 12” dia. x 1'' Thick |
卡盘平坦度 | +/-10μm |
温度范围 | RT-200ﾟC |
温度分辨率 | 0.1ﾟC |
温度度 | 100ﾟC,±0.5ﾟC; 200ﾟC,±1ﾟC; 300ﾟC,±2ﾟC; 400ﾟC,±3ﾟC |
从25ﾟC加热到 | 100ﾟC, 150ﾟC, 200ﾟC |
4英寸卡盘所需时间 2:00 、 3:30 、5:00 | |
加热驱动方式 | 直流 |
材料 | 不锈钢 |
电源 | 110 VAC, 60Hz |
加热功率 | 4'' 700W ; 6'' 1000W ; 8'' 1500 W |
真空泵 | -250 mmHg, 7 liter/min |
水流量 | 20 升/分钟 |
温度控制器 | |
附件与升级：
温度高可达 300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃, 800 ℃
温度低可达 5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温77 °K
连接适配器，用于与其他品牌探针台的装配
方形卡盘，根据要求定制
更高精度、高均匀性、快速升温等，根据要求定制
水冷却槽
绝缘套件，用于低电流测试
液晶套件
真空罐
C-V测量附件
测量仪器与带脚轮的仪器机柜
真空圈，客户订制
镀金卡盘
镀镍卡盘
