Piezoconcept 双轴纳米定位器产品介绍_定位器-北京汉达森机械技术有限公司手机版

产品简介

Piezoconcept 双轴纳米定位器产品介绍
LFHS2是一款2轴超高速纳米精密定位器，沿X和Y方向的行程范围可达75米，具有66毫米x 66mm毫米的大孔径，两轴的谐振频率均高于2kHz。如果需要，它还可以与集成的Z轴(50米行程范围)一起使用(参见3轴型号LFHS3).

详细介绍

Piezoconcept 双轴纳米定位器产品介绍

HS1H系列是一款紧凑型纳米定位器，可以组合成2轴甚至3轴纳米定位系统。它提供 10、30、50、70 或 100μm 的运动范围，中心孔径为 33 mm，

是光学显微镜应用的理想选择。由于采用直接驱动结构，它具有特别快的步进响应时间。

Z-STAGE系列是一款紧凑型Z型直接驱动纳米定位器，具有高速能力。它可以与具有2×66毫米孔径（LF66 / LFHS2）的2轴纳米定位器结合使用，以获得SPM3或SPM3LR。Z载物台可提供 5、10、25 或 50μm 的运动范围。

该纳米定位器是我们高速产品线的一部分（提供高功率控制器）。

TT1系列是一个 1 轴载物台（Theta），运动范围为 5 或 10mrad。它是需要光束控制的应用的理想工具。

这使得这款高速载物台成为粒子跟踪、光学镊子、光束稳定和扫描显微镜等应用的畅销产品。

LFHS2是一款 2 轴超高速纳米定位器，沿 X 轴和 Y 轴的行程范围高达 75μm，具有 66mm x 66mm 的大孔径和高于 2kHz 的两轴谐振频率。

如果需要，它还可提供集成的Z轴（50μm行程范围）（参见3轴型号LFHS3），该压电级可以与粗定位的微载物台结合使用（参见我们的混合系统）。

使用高功率控制器可以实现高速扫描和短于2ms的步进响应时间。

运动范围（um）:30

分辨率（nm）:0.03

噪声下限（nm典型值）0.003

重复性（nm）:0.06

线性化（典型值共振频率（Hz）:0.02%

线性化:0.02%

刚度（N/um）0.6

传感器尺寸Wx L x H（mm）:120.8x120.7x28.5

材料电缆长度（m）:2

控制器最大负载:1

水平使用垂直使用:0.5

谐振频率XY（Hz）:3000/2000

刚度XY（N/um）:4/3

产品图纸:

企业微信截图_16774807893450

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