SIPDR电阻率测试夹具-厚度为h的样品的测量精度?％-上海骐锐信息科技有限公司

详细介绍

SIPDR电阻率测试夹具SiPDR（单柱介电谐振器）用于测量超材料和电阻膜的表面阻抗，以及用于半导体晶片的电导率的非接触式测量；可以测量的薄膜材料范围包括表面阻抗Rs<20kΩ/sq的电阻层、金属薄膜和导电聚合物薄膜。

SIPDR电阻率测试夹具对于半导体晶片，电阻率测量的上限约为1000Ωcm。具有较高电阻率值的半导体可以使用该谐振器方便地进行测量。所有SiPDR（单柱介电谐振器）都是定制的。

积社科技_QWED_SiPDR单柱介电谐振器原理图

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