Honeywell霍尼韦尔流量传感器HAF系列 - 高流量，补偿式。±50 SCCM 至 ±750 SCCM - 模拟或数字输出。10 SLPM 至 300 SLPM - 数字输出

Honeywell高流量传感器HAF系列产品简介如下：
霍尼韦尔 Zephyr™ HAF 系列传感器为满量程流量范围及温度补偿范围内读取气流数据提供一个数字界面。隔热加热器和温度感应元件可帮助传感器对空气流或其他气流做出快速响应。

Zephyr 传感器旨在测量空气和其他无腐蚀性气体的质量流量。

10 SLPM 至 300 SLPM
标准流量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范围供您选择。这些传感器利用电路板上的专用集成电路 (ASIC) 进行全面的校准和温度补偿。

大于 10 SLPM 的 HAF 系列在经校准的 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的温度范围内进行补偿。基于 ASIC 的补偿能实现数字 (I2C) 输出和 1 ms 的响应时间。

±50 SCCM 至 ±750 SCCM
标准流量范围可在 ±50、±100、±200、±400 或 ±750 SCCM 下使用。还提供自定义流量范围。这些传感器利用电路板上的专用集成电路 (ASIC) 进行全面的校准和温度补偿。

HAF系列可以对0°C 至50 °C [32°F 至 122°F] 的温度范围做出补偿，并且可以在 -20C 至70°C [-4°F 至 158°F] 的温度范围中工作。基于 ASIC 的补偿能实现数字 (I2C) 输出和 1 ms 的响应时间。

这些传感器根据热传递原理测量气流的质量流量。它们由含有热电阻微桥的微机电传感系统 (MEMS) 组成，薄膜铂电阻沉积于氮化硅薄膜上。MEMS 传感芯片位于精密设计的气流通道内，提供对于流量的可重复响应。

Zephyr 传感器可以为客户提供增强的可靠性、高准确度、可重复测量等性能，并且能够定制传感器以满足许多具体的应用要求。坚固外壳和稳定基底相结合使得这些产品极其坚固耐用。它们的设计与制造符合 ISO 9001 标准。

Honeywell霍尼韦尔传感器有以下几类：气流、电流、位移、动力、加热器、时计、湿度、红外、磁性、位置、压力、近程和温度。
电子传感器检测并测量温度、压力、触力或加速度等物理现象，并提供相应输出（通常以电子信号形式）。

所有气体质量流量传感器均通过热交换运行——流动和压差。硅芯片设计源自薄膜、隔热桥结构，包含加热和热敏组件。这可以对空气或气体流量和方向作出快速响应，提供相应的输出电压。放大型能提供更强的输出信号和更少的外部电路，而未放大型可选择更多的外部电路。

Honeywell高流量传感器HAF系列基础参数：

端口类型：
短
长接口

存储温度：-40°C 至 125°C [-40°F 至 251°F]

流量/压力范围：
0 SCCM 至 750 SCCM
0 SCCM 至 200 SCCM
0 SCCM 至 50 SCCM

响应时间：典型值 1 ms
补偿温度范围：0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]
信号调节： 放大
介质兼容性：仅干燥气体

功耗：
最大 40 mW
最大 65 mW

共模压力：最大 25 psi

电源电压：
3.3 Vdc
5.0 Vdc

工作温度：-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]

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