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真空等离子清洗机vp60
用途
·wire bonding 前焊盘的表面清洗
·集成电路键合前的等离子清洗
·ABS 塑料的活化和清洗
·陶瓷封装电镀前的清洗
·其他电子材料表面改性和清洗
特性
·采用 13.56MHz 射频电源搭配自动网络匹配器 或 中频40Khz电源
·产品放置治具灵活多变，可适应不同形状的产品
·产品放置平台灵活移动，方便操作
·极小的占地面积
技术规格 | VP120 | |
电极 | 有效尺寸 | 400（W）*410（D）mm |
电极分布 | 6层水平分布，极板间距50mm | |
真空腔体 | 尺寸 | 785（W）*485（D）*350(H)mm |
材料 | 航空铝合金 | |
主机 | 主机体尺寸 | 1240(W)×1600(H)×1100(D)mm |
安装面积 | 1500*1500mm | |
重量 | 标准机型：500KG | |
RF电源 | 功率@频率 | 美国CERES-600W@13.56MHz或1000W@40Khz |
真空泵 | 变频器 | 德国西门子变频器控制真空泵电机 |
机械油泵 | 日本ULAVC-60m3/h | |
主要配件 | 气体流量计 | SevenStar 2通道0-300sccm |
真空探测仪 | 日本ULAVC皮拉尼式 | |
破真空阀门 | 日本CKD气动阀门 | |
电磁阀 | 日本SMC真空电磁阀 | |
控制方式 | 德国西门子PLC & 人机界面 | |
安装条件 | 电力 | AC380，50/60Hz，3Phase 5wire，5.2KVA |
压缩空气 | 0.4-0.6MPa | |
工艺气体 | O2 N2 H2 Ar | |
排气管道接口 | KF40 | |
深圳金铂利莱专业研发和生产等离子清洗机,大气压等离子清洗机,真空等离子清洗机.有效提高产品表面附着力,为客户提供表面处理整体解决方案！
