ALD-1200X-4双通道ALD管式炉系统

OTF-1200X-S-HPCVD坩埚（样品台）可移动型1200°C管

OTF-1200X-50-II-P带有预热系统的滑动PECVD

OTF-1200X-80-III-F3LV1200°C三温区三通道混气CVD系统

OTF-1200X-50S-PE-S小型滑动PECVD管式炉系统

OTF-1200X-PESDFG-5双炉体滑动PECVD系统、循环手套

OTF-1200X-50-4CLV-P4路质子混气管式PECVD系统

OTF-1500X-III-4CV三温区1500°C PECVD系统