合肥科晶 品牌
经销商厂商性质
南京市所在地
| 高温炉部分 | 炉体设计为开启式，以便于更换炉管工作电源∶ 208.240 VAC，50/60Hz z功率为∶2KW 工作温度∶1200℃（<1hr）连续工作温度∶ 1100℃加热区长度∶ 200m 恒温区长度∶60mm（-1℃@1000℃）注∶由于测量里手段及外部环境的影响，测里结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员 炉管∶ 高纯石英管，尺寸50mm ODx44mmIDx450mmL） | |
| 温度控制系统 | 采用PID30段程序化控温，其控温精度为--1℃控温仪表操作视频设有过热和断偶保护热电偶采用K型热电偶 | |
| 真空密封 | 采用KF结构密封法兰，硅胶密封圈密封法兰上安装有一机械压力表 右端法兰与一个真空不锈钢波纹管连接（不锈钢波纹管伸缩幅度为150mm）真空度∶ 10-2Torr（用机械泵抽） 10-5Tor（用分子泵抽） | |
| 坩埚移动机构&PLC控制 | 一个直径为14"的欧米伽铠装热电偶（K型），通过法兰伸入到炉管中，并可随坩埚移动，可实时监测样品的实际温度。 通过步进电机移动炉管内的坩埚（样品台），行程为100mm，移动精度为1mm 通过触摸屏设定坩埚一定的距离和目标位置，坩埚移动速度为180mm min（更准的移动速度，可与本公司定制，需额外收费） 可观察下图，了解坩埚与热电偶的安装方法 | |
| 加热速率和冷却速率 | 可通过移动样品到已预加热的炉体中来得到加热速率，也可将样品迅速移除高温的炉体，来得到降温速率的 降温速率 加热速率 10℃C/sec (950℃C-900℃); 10℃℃/sec (150℃.250℃); [7℃/sec (900℃-850℃); 7℃/sec (250℃.350℃); l℃/sec (850℃-750℃);℃/sec (350℃- 500℃); 2℃Csec(750℃-600℃C; B℃C/sec(6500℃.5s0℃); 1.5℃sec(600℃-500℃; 2℃/sec(550℃-650℃); 1℃C/e(500℃-400℃; 1℃C/sec(650℃-800℃); 0.5℃Csec400℃.300℃C); 0.5℃/sec(800℃-1000℃; | |
| 可选配件 | 可选购手动挡板阀（图1）防腐型数显真空计（图4） 快速连接法兰，以方便于放置样品（图2） 多路质量流量计控制的混气系统，用于CVD和DVD实验（图5） | |
| 尺寸 | ||
| 质保 |
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| 质量认证 | CE认证 所有电器元件（>24V）都通过UL /MET /CSA认证 | |
| 注意事项 | 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MP-0.1MPa，使用时会更加安全 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） | |
| 应用 | 此款设备可用于多种实验，以下列出了几种实验方法 RTE（快速热蒸发）∶蒸发料放在坩埚中，放入到炉体中心，基片放在样品台上，样品台与热电偶相连接，然后将样品台移动到理想的位置（此位置温度是实验所需要的温度） HPCVD（混台物理化学沉积）;与RTE相似，但需配混气系统，对反应气体混台并控制流量，同时也需设定蒸发料的位置（确定蒸发料的蒸发温度） 水平布里奇曼（Bridgman）法来长晶体∶将样品和籽晶放入到坩埚中，并将坩埚放入到炉体中心位置，然后设定坩埚移动速度，慢慢移动坩埚
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| 一年质保期，终生维护 （不含加热元件、炉管和密封圈） |
