二、仪器主要技术参数

1. 工作压力：常压～50MPa，计量精度：±0.1 MPa；

2. 工作温度：室温～100℃，计量精度：±0.1℃；

3. 流量范围：0.005～80ml/h，计量精度：0.1% F.S；

4. 系统耐压：70 MPa；

5. 模型规格：光刻模型：45×45mm。

三、系统组成

微观驱替物模系统主要由注入系统、模型系统、计量系统、数据及图像采集处理系统四个部分组成。详见系统流程图

（1）注入系统由注入泵、中间容器、真空泵、环压泵等组成。可提供注入水/气体/化学剂等多重介质，用于注入模型本体。在设计流程时，要求整个流程，包括使用的管阀件死体积尽可能小。

（2）模型系统由高温高压可视模型、平射光源、恒温箱等组成。

（3）计量系统由测压传感器、温控仪、计量管和回压系统等组成。

（4）数据及图像采集处理系统包括高倍显微镜、彩色摄像头、图像采集卡、数码照相机、台式电脑、微观驱替数据及图像分析软件等。