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薄膜的膜厚测定

时间:2020-12-23      阅读:220

测定物质的膜厚有各式各样方法,而用紫外,可见分光光度计,可进行简单的无损测定。本文探讨了用紫外、可见分光光度计可测定多少厚度的膜厚。
用分光光度计测定,膜的表面和里面的反射光互相干扰,得到波动的干涉光谱。厚度可计算在一定波长范围内的光谱上的波数而求出(但需有膜物质的折射率)。
膜越薄,光谱上的波数越减少,越厚越增加。这次测定了薄膜和厚膜的界限。

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