PSA制氧系统主要由空气压缩机、过滤器、空气冷干机、空气缓冲罐、活性炭过滤器、制氧主机、氧气储罐、灭菌过滤器、氧气增压机、灌装阀组等组成。原料空气经吸入口过滤器除掉灰尘颗粒后，被空气压缩机增压至0.5Mpa，首先由过滤器除空压机刚开机时压缩空气夹带的少量油份，再经空气冷干机冷凝出水，吸干机、活性炭过滤器而进入制氧主机的一只吸附器内。吸附器内装填吸附剂，其中水分、二氧化碳及少量其他气体组分在吸附器入口处被装填于底部的活性氧化铝所吸附，随后氮气被装填于活性氧化铝上部的分子筛所吸附。而氧气为非吸附组分从吸附器顶部出口出作为产品气排至氧气平衡罐，经氧气压缩机增至所需的用氧压力，送入至后续用氧工段使用。