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GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自动纳米压印光刻预处理设备
天仁微纳 品牌
生产厂家厂商性质
青岛市所在地
青岛天仁微纳科技有限责任公司
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GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自动纳米压印光刻预处理设备，自动上下片，包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能。
GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自动纳米压印光刻预处理设备主要功能
●全自动纳米压印光刻基底预处理
●机械手自动上下片，包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能
●毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗
●旋涂匀胶，包含自动供胶系统、EBR、BSR等功能
●热板烘烤、冷板冷却功能
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