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MFC-E系列紧凑型质量流量控制器(MassFlowController)是一款专为气体分析仪、质谱仪、配气仪等行业所开发的一款高精度、低温漂、高可靠性的气体质量流量控制器产品。该产品配备有高精度流量传感器、进电磁比例阀、316L不锈钢气路座等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等优点。操作使用方便,可广泛用于。输出和控制信号包括:0-5V模拟信号和RS485数字通信方式。
紧凑型质量流量控制器产品应用于:半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工(石化)等过程控制、气体混合配比