测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体,集成电路的检验和**测量.配备有冷光源光纤反射照明,成象和观察系统,偏光装置。
测量显微镜的介绍：
光学成象系统 Optical Imaging System
-----无限远光学系统,管镜焦距200mm
Infinitive Optical systam, Tube Lens Focal Length 200mm
-----铰链式三目镜筒,30°倾斜, 瞳距55-75mm
Compensation Free Trinocular Tube, Inclined at 30°, Interpupillary Distance 55-75mm
-----高眼点,大视场目镜WF10X/22
High Point and Wide Field Eyepiece WF10/22
-----长工作距离,平场复消色差物镜2X/0.055, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42
Long Working Distance, Plan Apo Objectives 2X/0.055, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42
------五孔物镜转换器
Quintuple Nosepiece
调焦系统 Focus Adjustment System
-----同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mm
Coaxial Coarse & Fin Focus Adjustment System, Fine Division 0.002mm
载物台 Stage
------ 6″x8″双层活动平台,移动行程153x204mm
6″x8″Double Layers Mechanical Stage, Move Range 153x204mm.
三维测量系统 Three-dimensional Measurement System
-------分辨率: 1μm
Resolution: 1μm
-------测量精度: ±(2+L/200)μm
Measurement Exactitude: ±(2+L/200)μm
------重复定位精度: 2μm
照明系统 Illumination System
-------冷光源光纤反射照明器:150W
Dold Light Fiber Reflected Illnminator: 150W
完善和**的测量软件
--------完整的几何量测(如:点,线,圆,弧,角度等)
Complete Geometric Measurement(Point,Line,Circle, Arc etc.)
--------坐标系的设定,摆正,旋转
--------显示方式多样化;语言的转换,公英制单位的转换,角度的转换
Diversity of Display: Conversion of Language, Measure and Angle
软件介绍
完整的几何量测（如：点、线、园、弧、角度等）。
坐标系的设定，摆正、旋转。
逆向工程功能以及与Auto CAD的同步操作使用以及与CAM的连接。
测量*准度的校正和补偿。
针对重复工件的量测有记忆、学习、自动编程的功能；快速准确的现场实时测量。
显示方式多样化：语言的切换（中文简体和繁体；英文等）；公英制单位的切换
（mm/inch）；角度的转换（度、度／分／妙）；显示数字的小数点可自设；各种线的颜色可自设
标注随意化：可依据不同的语言、颜色、格式在图形的任何位置进行标注。
个性化的编辑：有复制、粘贴、删除、剪切、延伸以及UNDO/REDO。
