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测量仪器
LFP 以 40 纳米的分辨率测量衍射极限焦点处的强度分布。
世界上极少能揭示任何激光设备的性能和像差的纳米级光束轮廓仪。
概览
激光焦点轮廓仪（LFP）是用于测量激光焦点附近强度分布的精密测量仪器。LFP 是世界上极少能够测量由高数值孔径（NA）透镜形成的超细焦点的产品。
激光焦点附近的强度分布是许多激光微/纳米技术的关键性能指标。它评估激光显微镜的空间分辨率、激光束加工的效率、光学数据存储的记录密度、基于光镊的力测量系统的弹簧常数、显微镜物镜的性能。
使用 CCD/CMOS 相机的光束轮廓仪作为商业产品，可用于传播激光束横截面的强度分析。然而，由于像素尺寸大（至少超过一微米）导致的空间分辨率有限，很难直接应用于带有显微镜物镜的激光焦点。要将此轮廓仪应用于小于像素尺寸的焦点，需要用光学元件放大焦点并将其成像在探测器上。然而，这种放大方法可能会引入不想要的像差；很难对准，并且要求放大光学元件具有比用于聚焦激光束的更高的 𝑁𝐴。
刀刃法是另一种已被提出的原位技术，但由于刀刃的锋利度、伪影等若干原因，尚未针对小激光焦点实现商业化。
LFP 利用 40 纳米大小的金纳米粒子，能够高精度地测量仅有几百纳米的高数值孔径（~1.4）透镜的焦点。
特点
l高分辨率（40 纳米；纳米粒子的大小）
l适用于高数值孔径聚焦透镜（～1.4）
l高度为 26 毫米的紧凑型传感器，可在显微镜载物台上操作
l无需调整
l精确测量原理（无像差，最小化伪影）
l三维测量
应用
l激光显微镜
l激光加工
l激光制造
l光学存储器
l光镊
l光学装置整体
l包括液体浸没透镜在内的各种显微镜物镜
规格
零件清单
l包括消耗性探头的 LFP 传感器
l扫描仪（如果您选择）
l控制器
l笔记本电脑
l电缆
LFP 传感器
传感器型号 | LFP-UV-111100 | LFP-VIS-166145 | LFP-NIR-166145 |
激光波长 | 200 nm ~ 400 nm | 400 nm ~ 1100 nm | 1000 nm ~ 1700 nm |
探头 | Gold nanoparticl 40 nm | Gold nanoparticl 40 nm | Gold nanoparticl 4 0nm |
探头数量（在光束照射区域，Φ100μm） | > 5 | > 5 | > 5 |
NALFP | 1.11 | 1.66 | 1.66 |
截止数值孔径 | 1.00 | 1.45 | 1.45 |
光敏度（V/nW）（典型值） | TBD | TBD | TBD |
放大器截止频率（Hz） | 160 | 160 | 160 |
放大器增益 | 100M | 100M | 100M |
尺寸(mm) | Φ30 H31 | Φ30 H26 | Φ30 H26 |
重量(g) | 55 | 50 | 50 |
扫描仪
扫描仪型号 | TBD XYZ | TBD XY |
轴 | x/y/z | x/y |
驱动类型 | Piezoelectric element | Piezoelectric element |
行程(μm) | 120/120/60 | 120/120 |
在 50 克负载下的共振频率(Hz) | 155/155/155 | 155/155 |
重复性(nm) | ±5/±5/±5 | ±5/±5 |
位置传感器 | Capacitive sensor | Capacitive sensor |
孔径(mm) | Φ30 | Φ30 |
尺寸(mm) | □100 H26 | □100 H26 |
重量(kg) | 0.5 | 0.6 |
控制器
控制器 | TBD XY | TBD XY | TBD NA |
用于扫描仪驱动的输出端口 | Drive x 3ch(SMB) Position sensor x 3ch(TJM) | Drive x 2ch(SMB) Position sensor x 2ch(TJM) AO(16bit,-10V to 10V) x 1ch, (TJM) Pulse output x 1ch (TJM) | AO(16bit,0V to 10V) x 3ch(TJM) Pulse output x 3ch (NBC) |
反馈控制类型 | PI Analog | PI Analog | N.A. |
输入传感器端口 | 1ch (BNC) | 1ch (BNC) | 1ch (BNC) |
输入动态范围 | 16bit | 16bit | 16bit |
PC 通信总线 | USB | USB | USB |
电源 | AC100 ～ 120V / AC200 ～ 240V selection | AC100 ～ 120V / AC200 ～ 240V selection | AC100 ～ 120V / AC200 ～ 240V selection |
功耗 | 100 VA | 100 VA | 50 VA |
尺寸(mm) | W236×D388×H140 | W236×D388×H140 | TBD |
重量(kg) | 5.4 | 5.4 | TBD |
