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红外光学元件类/平面窗口类/潜望棱镜类镜片
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上海攸亦光电科技有限公司
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经济型宽带分光平片(400~700nm)
红外光学元件类-红外镜片光刻
硒化锌光刻
技术要求
公差范围
刻画小线宽
1.5um
刻画大面积
180mm
刻画图案误差
±0.5um(根据刻画面积而定)
刻画深度
0.05um -10um(根据图案宽度而定)
刻画深度误差
±0.001um
材料
硅、锗、硒化锌、硫化锌等红外材料
我们可以根据客户要求,在红外材料抛光基片表面 加工码盘,相位光栅,投射光栅,反射光栅、分划版,分辨 率版等产品
平面窗口类
商业级
精密级
高精密级
尺寸范围
1-300mm
2-300mm
尺寸公差
土0.1mm
土0.025mm
土0.01mm
厚度公差
角度公差
± 5´
± 30´´
± 2´´
表面质量
60-40
40-20
20-10
表面精度
1.0λ
λ/10
λ/20
镀膜
增透膜或反射膜
倒边
0.1-0.5mm*45 °
光学玻璃/微晶玻璃/融熔石英
潜望棱镜类
可为装甲战车、潜艇、坦克、装甲运兵车等提供一系列潜望棱镜产品
100-600mm
±10´
±1´
±30´´
2.0λ
0.1-0.5mm*45°
K9/熔融石英或其它红外光学材料
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