热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻(RTD)组成。一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器RH被加热，另一个传感器RMG用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加，气流带走更多热量，传感器RH的温度下降。根据热效应的金氏定律,加热功率P、温度差△T(TRH-TRMG)与质量流量Q有确定的数学关系式。P/△T=K1+K2f(Q)K3K1、K2、K3是与气体物理性质有关的常数。热式气体质量流量计*的温度差测量方式克服了采用恒温差原理的热式气体质量流量计测量煤气流量时因煤气中含水、油和杂质而造成的很大的零点漂移，导致无法测量的弊端。它也可以用于测量湿气体的质量流量，如矿井下瓦斯抽放、送风，排风系统中的风量(速)的实时检测。

热式气体质量流量计具有如下技术优势：1.真正的质量流量计，对气体流量测量无需温度和压力补偿，测量方便、准确。可得到气体的质量流量或者标准体积流量。2.宽量程比，可测量流速高至100Nm/s底至0.5Nm/s的气体，可以用于气体检漏。3.抗震性能好使用寿命长。传感器无活动部件和压力传感部件，不受震动对测量精度的影响。4.安装维修简便。在现场条件允许的情况下，可以实现不停产安装和维护。（请参见安全注意事项）5.数字化设计。整体数字化电路测量，测量准确、维修方便。6.采用RS-485通讯，或HART通讯，可以实现工厂自动化、集成化。热式气体质量流量计应用在熔剂回收系统气体流量测量。