LEBO/雷博 品牌
生产厂家厂商性质
无锡市所在地
1.硬质阳极氧化铝面板,加热面板尺寸:220mm*220mm方形;
2.控温范围:室温至300℃,温度分辨率:0.1℃
3.7寸全彩触屏操作,高级PLC控制,控温精度达到±0.2℃
4.带自动顶升功能,实现接近烤胶模式;电动顶针调节高度范围:0-30mm,顶针高度分辨率:0.1mm
5.顶针可使用底物直径大于40mm晶圆,特殊要求可定制;
6.温度均匀性:200℃以下≤±1%;200℃~300℃≤±1.5%
7.可存贮100组烤胶配方,每个配方可设置30个加热阶段;
8.外型尺寸:423mm(W)*562mm(D)*295mm(D)
9.线性升温范围在1-10℃/min,升温速率可设置;