离子溅射仪 产品参数：

1.腔体尺寸：石英玻璃，直径150mm*高度130mm

2.供电规格：AC220V，200w

3.适用靶材：贵金属（AU、Pt、Pd）合金（AU-Pt、AU-Pd ）

4.样品台可调高度：20~50mm，可放置多个标准SEM样品座

5.样品台尺寸：直径65mm

6.极限真空：＜1Pa

7.样品温度：40-50℃

8.气体流量：手动调节

9.控制：触摸屏控制

10.外形尺寸：260mm*410mm*343mm（宽*深*高）

11.溅射电源：磁控溅射MAX 500V ，MAX 60mA

12.靶材尺寸：直径57mm，厚度0.1~2mm

13.溅射时间：1~999s

14.抽气时间：＜2~3min

离子溅射仪 产品简介：

1、人性化设计，仪器操作简单，一键镀膜。

2、仪器小巧，靶材更换简单，样品台高度调整方便。

3、镀膜均匀细密，重复性好，适用于多种靶材。

4、特殊密封结构，腔体不易损伤。

5、性能可靠，并设有多种安全保护机制。