实验室光刻机产品参数 ：
1.曝光面积:160mm*160mm
2.曝光分辨率:接触式曝光0.8um-1um
3.对准精度:±1-1.5um
4.光源强度:35mW/cm2
5.UV光源:进口LED模块
6.曝光中心波长:365nm
7.光源寿命:1万小时，光源平行性:≤2°
8.曝光分辨率:接触式曝光0.8um-1um
9.照度不均匀性:≤3%
10.曝光设定:定时
11.可执行曝光模式:真空接触、硬接触、压力接触、接近式
12.间隙设定方式:数字设定曝光间隙0-1200um
13.可调，可自动分离和消除间隙
14.样片、掩模版相对移动范围:X:±5mm，Y:±5mm,0=±6°
15.掩模版找平方式:球气浮自动找平
16.可支持掩模版尺寸:3"x3"、4"x4"、5"x5"、7"x7"各一件
17.标配承片台:2英寸、3英寸、4英寸、6英寸
18.标准配件可兼容样片厚度:0.1-5mm，其他尺寸可定制
19.对准系统:光学+CCD,显微倍数:放大倍率:150倍-720倍可调
20.双物镜可调距离范围:30mm-120mm
