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扫描探针显微镜的设计易于集成到电子显微镜中。 互补的SPM 和SEM 技术的结合使得能够利用两种常用显微镜技术的优势。
LiteScope™提供了广泛的扫描探针显微镜（SPM）成像模式，可通过更换探针轻松使用。
用于制造纳米/微结构和表面修饰。通过这种组合，LiteScope™可以轻松快速地对制造的结构进行3D检查。
关联显微镜是一种受益于两种不同技术的同一对象成像的方法。
相关探针 和电子显微镜（CPEM）已开发用于使用相关成像技术（正在申请专力），并带来了解决方案，该解决方案可以同步：
通过电子扫描样品进行二维分析。
通过物理探针扫描样品。
结合了两种技术，并提供相关成像。
CPEM可以在同一时间和同一协调系统中同时通过SEM和SPM对一个区域进行同时的表面表征。
以已知的恒定偏移量和相同的分辨率进行同时扫描，可确保在同一表面上进行分析，并可通过我们的NenoView软件直接用于在线成像。
LiteScope™通常用于高真空中，但也可根据要求适用于超高真空条件。
我们提供*非磁性的版本，也可根据要求提供闭环。
LiteScope™放置在SEM / FIB显微镜的载物台上，甚至可以在倾斜位置进行测量，例如与FIB技术同时使用。
所有控制LiteScope™的电子设备都集成到一个控制单元中。该单元是标准的19英寸机架，可以轻松地安装在SEM电子设备的空闲插槽上，也可以简单地自由放置以匹配手头任务的需要。
NenoView是用户友好的软件，它可以*控制设置测量，数据采集和数据处理。NenoView 支持CPEM技术，并使其能够直接和内部利用相关成像。
LiteScope™提供并支持各种SPM测量方法和探头。
其设计的基石和有价值的技术特征是通用探头支架，可以非常轻松地“即插即用”安装不同的探头。
| Akiyama probes | Tuning fork based probes | PRS/A* | Pt/Ir wire | |
|---|---|---|---|---|
| STM (Scanning Tunneling Microscopy) | Yes | Yes | No | Yes |
| AFM – Contact Mode | No | No | Yes | No |
| AFM – Tapping Mode | Yes | Yes | Yes | No |
| AFM – Conductive Mode | No | Yes | No | No |
| MFM (Magnetic Force Microscopy) | No | Yes | No | No |
| KPFM (Kelvin Probe Force Microscopy) | No | Yes | No | No |
| EFM (Electrostatic Force Microscopy) | No | Yes | No | No |
| FMM (Force Modulation Mode) | No | No | Yes | No |
| Local voltage measurement | No | Yes | No | Yes |
| Local current measurement | No | Yes | No | Yes |
* Piezo-Resistive Sensing / Active (PRSA) probes
接触模式
在接触模式下，在整个样品表面上“下垂”，并且可以直接使用悬臂的偏转来测量表面的轮廓，或更常见的是，使用将悬臂保持在一定角度所需的反馈信号进行测量。恒定挠度。
轻敲模式
在轻敲模式下，驱动探头以其共振频率或接近共振频率垂直振荡。这种振动是通过探针（音叉），集成加热器元件（PRSA）或悬臂支架（PRS）中的小型压电元件的压电特性实现的。这种振荡的幅度通常在几纳米到200纳米之间变化。
导电模式
C-AFM）是原子力显微镜（AFM）的一种变体，与形貌学同时测量电流以构建研究样品的电导率图。电流流过显微镜的金属涂层头部和导电样品。
EFM是一种动态非接触式原子力显微镜，可在其中探测静电力。由于分离的电荷的吸引或排斥而产生该力。这是一个远距离作用力，可以从样品中检测出100 nm或更大的距离。
LiteScopeTM也可用作纳米操纵器。将金属头部粘贴在样品中所需的位置，然后测量局部电压/电流。此模式不是显微镜技术，但可用于测量例如电子束感应电流等。
FMM是在接触模式下运行的AFM成像的扩展，用于检测样品表面机械性能的变化，例如弹性或附着力。
在FMM模式下，AFM头部与样品表面接触时进行扫描，并且Z反馈环与恒力模式AFM一样保持恒定的悬臂挠度。
KPFM是一种扫描探针法，其中可以使用与宏观Kelvin探针相同的原理来测量探针头部与表面的局部接触电势差。AFM中的悬臂是一个参比电极，该参比电极与表面形成电容器，在该表面上以恒定间隔横向扫描。悬臂不是像通常的AFM那样以其机械共振频率ω0从外部驱动，尽管在此频率下在头部和表面之间施加了交流电压。
MFM是原子力显微镜的一种模式，其中尖锐的磁化头部可扫描磁性样品；头部样品的磁性相互作用被检测到并用于重建样品表面的磁性结构。
MFM可测量多种类型的磁相互作用，包括磁偶极-偶极相互作用，磁畴壁，磁涡旋等。MFM扫描通常使用非接触式AFM（NC-AFM）模式。
STM是一种用于在原子水平上成像导电表面的技术。STM不仅可以用于超高真空，还可以在空气，水以及各种其他液体或气体环境中使用，温度范围从接近零开尔文到几百摄氏度。
该探头基于石英音叉 和微机械悬臂
这种新型探头的优点是，用户可以通过一个探头同时受益于音叉的极其稳定的振荡和硅悬臂的合理弹簧常数。
由NANOSENSORS提供
压电电阻敏感有源（PRSA）探头是硅悬臂梁，具有集成的压电电阻桥和热加热器，用于自感应和自触发扫描探头显微镜应用。
压电电阻集成到匹配的惠斯通电桥中，以优化灵敏度并补偿环境热漂移。
由SCL-Sensor.Tech提供
石英音叉用于检测头部和表面之间的原子力。音叉的高刚度可实现非常低的振荡幅度，而高Q因子可确保足够的灵敏度。探头可以具有一个导电头部，该导电头部可以连接到电子读数器（用于导电AFM或隧穿电流读数器），而不会与叉形电极发生串扰。样品的磁性也可以通过带有铁磁头部的音叉传感器来检查。此外，有经验的终用户可以使用各种头部材料来构造音叉传感器，以调节所需的特性。
导线是用于STM测量的基本探针。
尽管Pt / Ir合金是容易用于此目的的合金之一，但可以使用许多其他材料（例如金，钼，镍等）。导线可以被电化学蚀刻或机械切割以形成非常锋利的头部。这种探针还适合在纳米操纵器模式下进行本地电压/电流测量。
LiteScope™是专为在“ 即插即用 ”模式下集成到不同制造商的SEM显微镜而设计的。我们提供可以根据客户要求定制的适当适配器和馈通。
LiteScope™易于安装，只需通过四个螺钉将电子显微镜连接到样品台，即可将电缆插入已准备好的真空馈通中。
