Sensofar共聚焦白光干涉仪是一种高性能的3D光学轮廓测量仪器，其结合了共聚焦、干涉测量等多种先进技术，实现了对物体表面形貌的高精度测量。以下是对其测量原理与技术的详细解析：
 

　　一、测量原理
 

　　干涉测量原理
 

　　干涉技术的基本原理是将光分成光学传播路径不同的两个光束，然后再合并，从而产生干涉现象。
 

　　在干涉物镜的作用下，显微镜可以作为干涉仪工作。当焦点对准后，可在样本上观察到干涉条纹。这些条纹的强度和相位信息反映了样本表面的高度信息。
 

　　共聚焦测量原理
 

　　共聚焦技术通过多个光源和探测器组合，实现对样本表面不同位置的同时测量。
 

　　该技术利用不同光源发出的光线在样本表面聚焦形成的光斑，通过探测器接收反射光信号，从而获取样本表面的高度信息。
 

　　二、技术特点
 

　　高精度测量
 

　　Sensofar共聚焦白光干涉仪采用干涉测量原理，结合先进的算法和数据处理技术，实现了对物体表面形貌的高精度测量。其系统噪声低，测量精度可达亚纳米级别。
 

　　大视场测量
 

　　该仪器具备大视场测量能力，能够同时测量较大范围的物体表面。这得益于它的共聚焦技术和多光源设计，使得仪器能够在保持高精度的同时，实现大范围的测量。
 

　　非接触式测量
 

　　Sensofar共聚焦白光干涉仪采用非接触式测量方式，避免了传统接触式测量可能带来的误差和损伤。这使得该仪器在测量柔软、易损或微小物体时具有显著优势。
 

　　快速测量
 

　　该仪器具备快速测量能力，能够在短时间内完成大量数据的采集和处理。这得益于其先进的扫描技术和数据处理算法，使得仪器能够在保持高精度的同时，实现高效的测量。
 

　　三、技术解析
 

　　相移干涉法(PSI)
 

　　PSI是一种高精度测量技术，通过测量干涉条纹的相位变化来获取物体表面的高度信息。该技术适用于测量高度光滑和连续的表面，能够实现亚埃级别的测量精度。
 

　　相干扫描干涉法(CSI)
 

　　CSI是一种适用于测量光滑到中等粗糙表面的技术。该技术通过扫描不同高度的表面并测量干涉条纹的强度变化来获取物体表面的高度信息。在任何放大倍率下，CSI都能达到1nm的高度分辨率。
 

　　EPSI技术
 

　　EPSI结合了PSI和CSI两种技术的优点，能够在具备数百微米的高度扫描范围的同时，拥有0.1nm的高度测量分辨率。这使得EPSI技术在测量复杂表面形貌时具有显著优势。
 

　　四合一法
 

　　Sensofar共聚焦白光干涉仪还采用了四合一法技术，即在同一系统中集成了Ai多焦面叠加、共聚焦、干涉和光谱反射四种测量技术。这使得仪器能够根据不同的测量需求灵活切换技术模式，实现更广泛的测量应用。
 

　　综上所述，Sensofar共聚焦白光干涉仪以其高精度、大视场、非接触式、快速测量等技术特点，在3D光学轮廓测量领域具有广泛的应用前景。其独特的测量原理和技术解析为我们深入理解和应用该仪器提供了重要的参考。