Sensofar 5轴空间3D共聚焦白光干涉轮廓仪结合了高精度旋转模块和S neox 3D光学轮廓仪的检测和分析功能在位置上实现全自动地3D表面测量，并结合在一起，完成全表面的3D立体测量。S neox 3D测量技术涵盖了广泛的尺度，包括轮廓变化（多焦面叠加技术)、亚纳米粗糙度（干涉测量技术）或需要更高横向分辨率以及垂直分辨率（共聚焦技术）的临界尺寸。

Sensofar 5轴空间3D共聚焦白光干涉轮廓仪特点：

1、涵盖了广泛的三维测量尺度

S neox 3D测量技术涵盖了广泛的尺度，包括轮廓变化（多焦面叠加技术)、亚纳米粗糙度（干涉测量技术）或需要更高横向分辨率以及垂直分辨率（共聚焦技术）的临界尺寸。

2、应用范围广泛

S neox Five Axis可以在位置进行全自动3D表面测量，并将所有测量结果组合在一起，完成全表面的3D立体测量。

3、完整的3D測量

S neox Five Axis能够旋转样品,在圆周上相同高度的位置测量一系列3D形貌。SensoFIVE 软件合并相同高度的一系列单个3D形貌信息，得到高精度的环形样品表面的精确3D表面。然后合并不同的高度，系统可以在尖锐边缘和关键表面上提供完整的形状信息。

4、连接相邻表面：测量大于90º的角度

测量包含陡角的复杂曲面非常困难，因为阴影效应会阻止您在单次采集中获得完整的测量结果。有必要倾斜样品以便从两个不同的位置测量样品并将两个形貌结果组合以获得完整的测量结果。Five Axis旋转台允许样品沿相反方向定位以使整个表面可见。系统将获取单独的测量值，然后，将自动合并它们以获得完整的3D立体测量。

5、多自由度测量无限制

通过自动化程序，只需单击一下即可测量样品的不同部分。友好的用户界面允许您在没有任何约束的情况下找到测量位置。然后关注样品的关键部分并将其添加到自动化例程中。最后
点击”获取”，只需单击一下即可获得所有测量部件。这是一种自动化测量程序的快速简便方法。

6、表面光洁度测量：准确可靠

我们的共聚焦和干涉测量技术允许您测量具有任何级别的粗糙表面，从极粗糙（典型的钢材表面）到大约1A的高反射表面 (金刚石或镜面)。根据NPL、NIST和PTB粗糙度标准，将我们的系统转换为重复且可追溯的系统。多焦面叠加技术使系统对测量大坡度提供了快速、简便地响应。

7、高精度5轴旋转平台

Five Axis旋转平台有高精度电动旋转A轴和360º无限旋转、1弧秒定位重复性、和电动B轴、-30º至110º、0.5弧分定位精度、带限位开关组成。还配备了System3R夹紧系统。

8、丰富的支架和夹头

各种支架和夹头。根据样品，可提供不同类型的支架。对于旋转样品，夹头支架（可根据要求提供多种选择）带有十五个夹头，而其他夹头则为扁平夹具。它还包括平面镜和校准样品的校准包。

9、均匀的环形灯增强照明

为获取均匀的照明，配置环形灯照明辅助。环形灯采用LED照明，以均匀有效的方式照射样品。它安装在物镜的上方和周围，环形灯为共焦和多焦面叠加技术提供增强的信号。这确保了焦平面处的适当照明。

1、明场

其他可选物镜: 水浸物镜、超长工作距离物镜、加长工作距离物镜、焦深调节环物镜 1大视场系 2/3” 摄像头及光学 0.5X。 2表面的像素大小。 3 L&S:线条和空间，根据瑞利准则计算半衍射极限。蓝光波长。 4根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。 5在光滑的表面上，在粗糙表面上可达86º。

2、干涉

其他可选物镜: 可变反射率，Michelson、Mirau 及Linnik 1大视场系 2/3” 摄像头及光学 0.5X。 2表面的像素大小。 3 L&S:线条和空间，根据瑞利准则计算半衍射极限。蓝光波长。 4 对于干涉物镜，10μm扫描范围。   5根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。对于 PSI，防震开启，10 个相位平均值。控温房间，压电平台扫描仪实现0.01nm。 6在光滑的表面上，在粗糙表面上可达86º。