国产全自动台阶仪 JS2000B，拥有高精度、高分解能力，搭配一体花岗岩结构，提供稳定可靠的重复性测量。JS2000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。

应用范围

▲ 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量

▲ 各式薄膜等应力测量

▲ 3D扫描成像

▲ 计划任务和多点扫描

▲ 批量测试晶圆，批量处理数据等、

系统组成

▲ EFEM（SMIF+ROBOT+ALINGER)

▲ JS200B

选配品

▲ 高度校准标样

▲ FFU模块

▲ 静电消除模块

▲ E84接口

软件界面

扫描图

                                                                                                   18nm样品

                                                                                                  68um样品

技术参数