系列微纳结构三维形貌检测仪，基于白光干涉扫描原理，以光波长作为测量基准，利用纳米级高精度扫描系统结合具有自主知识产权的高精度解析算法，实现连续或台阶突变微纳结构表面三维形貌重构，由此获得待测物体三维形貌、表面纹理、微观尺寸等各类外观参数测量结果。

微纳结构三维形貌测量仪本产品具有以下特点：
高的测量精度：基于干涉测量原理，测量重复性达到1nm。
大的测量范围：采用*扫描系统，在保证纳米定位精度的同时，单场扫描范围可达到10mm，结合白光光源重构方法，可满足曲面元件等大范围物体测量需求。
全自动测量：标配自动检焦功能，结合自动调焦装置，无需复杂调节过程，一键操作即可完成调焦、检测全过程。选配自动二维平台，可自动完成大面积三维数据拼接操作
高集成度、安装简便：整机集成为统一整体，仅需外接220v电源，通过USB3.0 数据传输，即可完成数据传输与测量
具有高的性价比：保证系统性能的同时，降低制造成本
灵活性高：可根据用户需求，对系统进行改进，满足工业不同应用场景需求。