分辨率*3

4.0 nm（二次电子像、加速电压：20 kV、高真空模式）
  15.0 nm（二次电子像、加速电压：1 kV、高真空模式）
  5.0 nm（背散射电子像、加速电压：20 kV、低真空模式）

加速电压

0.3 kV～20 kV

倍率

×6～×300,000 （照片倍率）
  ×16～×800,000 （显示器显示倍率）

低真空设置

6～100 Pa

电子枪

集中灯箱（Pre-Centered Cartridge Filament）

样品台

3轴马达驱动样品台
  X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm
  T：-15～90°、R：360°
  最大可观察范围：直径64mm（R联用）*4

最大样品尺寸

直径80 mm（选配：直径153mm）

最大样品高度

40 mm

尺寸

机体：450（宽度）×640（进深）×690（高度） mm
  电源盒：450（宽度）×640（进深）×450（高度） mm

选项

·           高敏感度低真空检测器（UVD2.0）

·           能量色散型X射线检测器（EDS）

软件

Multi Zigzag（连续视野图像导入功能）