应力仪主要技术参数如下：

一、 应力仪定量位置：

1、应力测量范围 ：560nm（一级干涉色）以下

2、全波片光程差 ：560nm

3、检偏镜通光口径：φ150mm

4、台面玻璃通光口径：φ220mm

5、可测量样品最大高度 ：250mm

6、测量 ：<0.5°（检偏镜旋转角度）

二、定性位置：

1、应力测量范围 ：280nm（一级干涉色）以下

2、分辨率 ：0.2nm

3、光源 ：LED灯

4、电源：AC220V±22V；50Hz±1Hz

5、质量（净重）：21kg

6、外形尺寸（L×b×h）：470mm×450mm×712mm

定量位置：

1、应力测量范围 ：560nm（一级干涉色）以下

2、全波片光程差 ：560nm

3、检偏镜通光口径：φ150mm

4、台面玻璃通光口径：φ220mm

5、可测量样品最大高度 ：250mm

6、测量 ：<0.5°（检偏镜旋转角度）

二、定性位置：

1、应力测量范围 ：280nm（一级干涉色）以下

2、分辨率 ：0.2nm

3、光源 ：LED灯

4、电源：AC220V±22V；50Hz±1Hz

5、质量（净重）：21kg

6、外形尺寸（L×b×h）：470mm×450mm×712mm