RTS-8数字式四探针测试仪

是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。

    仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

    仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

    本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

 RTS-8数字式四探针测试仪技　术　指　标 ：

 测量范围       电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)； 

 方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)；

 电导率：10-5～105 s/cm；

 电阻：10-5～105 Ω；

可测晶片直径         140mmX150mm(配S-2A型测试台)；

 200mmX200mm(配S-2B型测试台)；

 400mmX500mm(配S-2C型测试台)；

恒流源     电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调

数字电压表     量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　

 分辨力：10μV；

 输入阻抗：>1000MΩ；

 精度：±0.1% ；

 显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；

四探针探头基本指标     间距：1±0.01mm；

 针间绝缘电阻：≥1000MΩ；

 机械游移率：≤0.3%；

 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；

 探针压力：5～16 牛顿(总力)；

四探针探头应用参数     (见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差

( 按JJG508-87进行)      0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整机测量最大相对误差         (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%

整机测量标准不确定度         ≤5%

测试模式         可连接电脑测试也可不连接电脑测试

软件功能（选配）         软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。

计算机通讯接口     并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5  秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）。

标准使用环境         温度：23±2℃；

 相对湿度：≤65%；

 无高频干扰；

 无强光直射；

配置 四探针测试仪主机、探针台、四探针探头