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为什么会用到晶圆显微镜?晶圆是制作半导体材料的主要部件,而在半导体晶圆的整体制造过程有几百个步骤,需要历时一到两个月完成。因此缺陷检测对于半导体制造过程非常重要,如果流程早期出现任何缺陷,则后续步骤中执行的所有工作都将被浪费,所以在半导体制造过程中缺陷检测是其中的关键步骤,用于确保良率和产量。这就需要用到技术先进的显微镜来进行缺陷检测,识别并定位产品表面存在的杂质颗粒沾污、机械划伤、晶圆图案缺陷等问题。
晶圆检测是主要的芯片产品合格率统计分析方法之一,而在芯片的总面积扩大和相对密度提升的情况下,对晶圆的要求也不断升级,晶圆检测也越来越精细,这就需要更长的检测時间及其更为高精密繁杂的检测设备来实行检测。晶圆显微镜除了拥有图像清晰、易操作、检测速度快的优势之外,还针对晶圆缺陷检测做出了一系列的特殊功能,确保晶圆检测的准确性。显微镜融合了先进的光学技术和数字技术,拥有简便的直观操作和稳定的可靠性,可为用户创建简洁合理的工作流程和灵活高效的解决方案,让晶圆的检测更精准、更简单。
MDP-A1单筒视频显微镜标准配置
放大倍数 | 7×-45× |
变倍比 | 1:6.5 |
物方工作距离 | 96mm |
标准配套 | 1X物镜和1XCCD目镜;主机配合尺寸直径39mm;主机长度200mm |
扩展功能 | 可选配同州照明、3D装置、金相物镜等 |
公司主营产品:生物显微镜、体视显微镜、金相显微镜、偏光显微镜、荧光显微镜、相差显微镜、工具显微镜、测量显微镜、金相设备、硬度计、离心机、折光仪等。