MKS MultiGas 6030傅里叶变换红外气体分析仪是以傅利叶变换红外为基础的多气体光谱 分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控，气体纯度和组成分 析，环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。MultiGas 6030傅利叶变换红外光谱分析仪能分析含有高达40%水的气流，能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱，故省出了气体筒的成本。另外，操作者也会发现MKS MultiGas 6030傅里叶变换红外气体分析仪操作简便，易于维护。 MultiGas 6030由保护的2102傅利叶变换红外制成分光计， 高光通量取样单元，分析软件及独立的定量光谱库组成。MultiGas 6030收集高分辨率 的红外光谱与定量光谱库分析，提供绝大多数气体及水蒸气的高精度，高灵敏度测量。 

特点和优点

⚫ 10ppb-灵敏度对于绝大多数有毒有害气体 

⚫ 易于移动从一处移到另一处，设置仅需几分钟 

⚫ 同时分析和显示多达30种气体

⚫ 分析仪储存了校准光谱，省去了气体筒的成本

⚫ 取样气体在进入分析室前加热并维持恒定温度

⚫ 保护的线性检测器，确保所有分析仪维持在相同的校准条件下

 ⚫ 频率和分辨率诊断，确保校准恒定

 ⚫ 提供自动温度和压力补偿以确保分析精度

 ⚫ 用户操作简便软件界面，稍加培训即可操作

应用

⚫ 烟囱监测器 

⚫ 工艺监测改进和优化

⚫ 空气环境分析 

⚫ 气体纯度分析 

⚫ 燃烧排放监测 

⚫ 选择性硅整流催化还原性能监测 

规格

分析仪主机

分析仪采样参数

分析仪气体室

检测极限