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美国SRS RGA系列残余气体分析仪
RGA系列残余气体分析仪可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分。
RGA系列残余气体分析仪可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分。
• 100，200，和300amu 优于1amu 的分辨率6 个量级的动态范围可检测5 x 10-14Torr
残余气体分析仪（RGA）划分为RGA100、RGA200、RGA300amu三种型号，其优异的性能和价值是真空分析仪的产品。每一个RGA 系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成，实时分析windows 软件包可以更方便用于数据采集和分析，并可进行远程控制。
探测器类型 | 标准法拉第杯(FC), 可选电子倍增 (EM) |
分辨率 | 优于0.5amu |
灵敏度(A/Torr) | 2 × 10−4 (FC), <200 (EM) |
探测极限 | 5 × 10−11 Torr (FC), 5 × 10−14 Torr (EM) |
测试范围 | 10−4 Torr to UHV (FC) 10−6 Torr to UHV (EM) |
操作温度 | 70℃ (max.) |
工作温度 | 300℃ (without ECU) |
