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2020SR非接触式单点薄层电阻测试仪
EddyCus® TF lab 2020SR 是一种非接触式单点薄层电阻测量系统。该设备包含一个涡流传感器组，可将微弱电流感应到导电薄膜和材料中。样本中的感应电流会产生与测量对象的薄层电阻相关的电磁场。该技术独立于表面特征或形态。此外，它不需要任何类型的充分样品接触或准备，例如从 2 点或 4 点探针测试（2PP、4PP）或霍尔效应或范德堡测量中得知。它既不需要设置测试结构，也不受表面粗糙度或非导电封装或钝化层的影响。此外，测量不会对测试的薄膜产生物理影响。由于存在机械磨损，涡流仪器具有较长的使用寿命。它独立于接触质量和高速，可实现高重复性和准确性，有利于研发和测试实验室中各种薄膜的系统质量保证。 EddyCus 工具可以由具有各种数据记录和导出功能的 SURAGUS 软件驱动，也可以由 SURAGUS 软件开发套件驱动的客户软件驱动。
软件和设备控制
1、非常人性化的软件
2、直观的触摸显示屏导航
3、实时测量薄层电阻和层厚
4、软件辅助手动映射选项
5、各种数据保存和导出选项
2020SR非接触式单点薄层电阻测试仪的数据表
测量技术 | 非接触式涡流传感器 |
基质 | 箔、玻璃、晶片等。 |
基底面积 | 8英寸/ 204毫米x 204毫米(三面开口) |
最大值样品厚度/传感器间隙 | 3 / 5 / 10 / 25毫米(由最厚的样品确定) |
金属薄膜(如铜)的厚度测量范围 | 2纳米–2毫米(根据薄层电阻) |
设备尺寸(宽高比) | 11.4英寸x 5.5英寸x 17.5英寸/ 290毫米x 140毫米x 445毫米 |
重量 | 10公斤 |
更多可用功能 | 薄层电阻测量/金属厚度监控器 |
VLSR | LSR | MSR | HSR | VHSR | |
6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy | |||||
Range [Ohm/sq] | 0.0001 – 0.1 | 0.1 – 10 | 0.1 – 100 | 10 – 2000 | 1,000 – 200,000 |
Accuracy / Bias | ± 1% | ± 1 – 3% | ± 3 – 5% | ||
Repeatability (2σ) | < 0.3% | < 0.5% | < 0.3% | ||
VLSR - 极低薄层电阻 , LSR - 低薄层电阻 , MSR - 中等薄层电阻 , HSR - 高薄层电阻 , VHSR - 非常高薄层电阻
