场发射扫描电子显微镜的组成,有以下几部分
时间:2022-05-18 阅读:614
无论是在高真空还是在可变压力模式下,更高的表面细节信息灵敏度让您在对任意样品进行成像和分析时都具备更佳的灵活性,为您在材料科学研究、生命科学研究、工业实验室或是显微成像平台中获取各种类型样品在微观世界中清晰、真实的图像,提供灵活、可靠的场发射扫描电子显微镜技术和方案。
场发射扫描电子显微镜的组成,有以下几部分:
一、电子光学系统
组成:电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件。
作用:获得扫描电子束、作为产生物理信号的激发源。
二、信号收集和显示系统
信号收集:二次电子和背散射电子收集器、吸收电子显示器、X射线检测器(波谱仪和能谱仪)
显示系统:显示屏有两个,一个用于观察,一个用于记录照相。
三、真空系统
组成:机械泵、扩散泵
作用:保证电子光学系统正常工作,提供高真空度,防止样品污染,保持灯丝寿命,防止极间放电。