冷场发射电子显微镜还有一些需要了解的概念：

　　1、二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。当原子的核外电子从入射电子获得了大于原子核和外层价电子间相应的结合能的能量后，可脱离原子成为自由电子。如果这种散射过程发生在比较接近样品表处，那些能量大于材料逸出功的自由电子可从样品表面逸出，变成真空中的自由电子，即二次电子。

　　2、背散射电子是指被固体样品原子反射回来的一部分入射电子。

　　3、光源为高速运动的电子束，通过场发射产生（单晶钨），冷场扫描电镜的电子枪由特殊的钨做成，在室温下可以产生电子束；得到的电子通过磁透镜进行汇聚，可以避免其它电子的轨迹的干扰；用扫描线圈进行样品扫描，它提供与电子束同步的扫描信号；通过相应的接收器进行接收之后进行信号转换，有相应的信号检测放大系统，信号强度随物体表面的情况而变化，在屏幕上显示出放大数倍的图像。

　　

　　仪器用途：

　　显微结构的分析：材料的形貌、结构、缺陷和界面的微观分析，包括衍衬成像，电子衍射，高分辨分析；

　　材料微观结构成分分析：成分的定性和半定量分析，元素的点、线和面分析，材料的形貌、结构、缺陷和界面的微观分析。