X射线显微分析是一种在电子显微镜中经常用到的测量固体样品、薄膜、微粒化学成分的分析技术。该技术应用一种能量色散X射线光谱仪(EDS)能同时探测和分析低至Be的所有元素。该技术从一个微米级的样品区域获得元素信息，提供低至0.1%质量百分数的检出限，这些特性使得X射线显微分析成为灵敏的分析方法之一。

　　

　　QUANTAX能谱仪的探头水平放置于电镜极靴的正下方，探头组件由四个独立的硅漂移芯片组成，它们环形排列于中心孔四周，入射电子束从该中心孔穿过。这一设计使得平插式能谱仪在保留高能量分辨率的同时具有超高的计数率和空间分辨率。特别适用于以下领域在低束流和极低束流下(<10pA)，分析束流敏感样品，如生物或半导体样品；分析表面不平整样品，消除阴影效应；在低加速电压和高放大倍数下，分析纳米颗粒和纳米结构；可测试超薄样品(如TEM样品)。