故障现象：使用一段时间后，溅射电流变小

 

　　解决方法：对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查。前两者对靶材进行更换，后者被油蒸汽污染，通过无水乙醇进行清洁，等到干了以后才能够抽真空。

 

　　故障现象：在使用一段时间以后，有着过低的真空。

 

　　解决方法：对溅射室中或管道内是否有油进行检查，能够使用汽油进行清洗。

 

　　故障现象：溅射电流不稳定忽高忽低

 

　　解决方法：阴极罩与靶的固定环有着过近的距离，将阴极罩逆时针旋转，对间距进行调整。

 

　　故障现象：有着过低的真空

 

　　解决方法：将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧。

 

　　离子以1-3kev的能量轰击阴极靶，当其能量高于靶材原子的结合能时，靶材原子或者原子簇，脱离靶材，又经过与等离子体中的残余气体碰撞，因此方向各异，当落在样品表面时，可以在粗糙的样品表面形成厚度均一的金属薄膜，而且与样品的结合强度高。