MSP-30T 镀金机 镀膜仪特点：

●多用途，用于实验的成膜装置

●电极分离型试料台避免试料损伤

●通过高速排气和简单操作实现高效成膜

●小型桌 面空间

●可以通过铁磁场 形成多种金属膜

●用涡轮增 压泵清洁真空

●经济实惠的特性

★MSP-30T 镀金机 镀膜仪是一种多用途，多金属，实验用离子溅射成膜装置。易溅射的除了贵金属以外，从Mo, W.等重金属以及Ti, A1等轻金属为目标，通过强磁场磁控管方式的电极形成膜。

★磁控管电极沿着目标金属表面从外周向中心方向形成磁场，可以有效利用目标的整个表面。

★溅射空气气体Ar通过从目标电极和屏蔽电极之间的间隙喷出目标表面来提高溅射效率。

★因为用低电压涂层的同时试料是浮动式的,试料损伤能小地抑制。

★试料台配备快门, 在不稳定初期溅射中复盖试料，在确认稳定状态的基础上，使试料上的成膜成为可能。

MSP-30T 磁控溅射 多用途简单操作型磁控溅射成膜装置