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技术参数
型号 | IXY100CA |
行程 | 100mm |
精度 | 1.0μm |
重复定位精度(3σ) | 0.5μm |
运动分辨率 *1 | AA: 10nm DS: 200nm |
最大速度 *2 | 200mm/s |
最大加速度 *2 | 0.5g |
水平方向直线度 | 2μm |
垂直方向直线度 | 2μm |
偏航角 | 15μrad |
俯仰角 | 50μrad |
装载质量 *3 | 10kg |
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。
尺寸
