30 纳米 jue对精度,1nm重复精度 

0.6 米直径工件, 仅需 1 秒测量

表面形貌 3D 成像

全新的触摸屏操作模式,Victsin 测量软件,现已支持Windows11

自动调平选件,让全自动测量成为现实

成盘测量选件 实现生产过程控制

一台机器可测量多种工件 通过更换不同的镜头 平面、凹面、凸面…

能够测量的工件 

直径 < 600 mm

粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件

超快速、超高精度的表面形貌三维成像

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通过光路扩展,  测量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件

通过CGH补偿器, 测量复杂曲面

黑色或透明工件, 仍然能够测量

适合半导体应用的MST(多表面测量) 一次采集, 同时完成上表面、下表面、厚度的计量。

适合半导体应用的jue对测距干涉，量程 > 100 μm 可进行台阶、翘曲度、热变形的测量。

出色的动态范围， 超过100条干涉条纹, 仍然可以分析。

将 FEA（有限元分析）引入干涉仪结构设计

根据文献, 干涉计算对 0~120 Hz 的振动敏感。 因此, 我们将机械结构的 7 阶模态设计到 127 Hz， 大大降低了机械结构对振动的敏感性

超高重复精度

对一片 250mm 直径的平晶进行 1000 次连续测量。

PV 值的重复精度为 5.7 纳米 (1/111 λ） 

RMS 值的重复精度为 0.38 纳米 (1/1666 λ）

VICT Dop模式,数据未经人为修改

三维成像原理

面型干涉是目前最主流的光学表面计量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路

VICT 技术原理

选件

VICT High 超高精度 测量模式

支持到0.1纳米 ( 1/6330 λ）RMS重复精度 和1纳米（1/633 λ）PV重复精度， 对环境扰动进行建模分析, 包括振动、气流、光场在内的负面影响排除。

没有使用多次测量取平均的方法, 不会导致被测物面型被“美化” 。

VICT Dop 多普勒抗振动测量模式

非常恶劣的工业环境下仍正常工作，所有模式中zui高的测量效率， 允许不使用隔振平台。

蒙版跟踪

超分辨三维图

清洁度分析

基础配置

测量精度

PV值是 Peak to Valley （峰值与谷值的差值 ）

RMS值是 Root Mean Square （ 均方根值 ），根据经验RMS值是PV值的1/3左右。因为像平面这类的简单形状，大多使用PV值来表示。

例如：面型精度的PV值是1/4λ时，表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm

重复精度定义

连续100次测量的允差 (95%置信度)

测试环境

样品放置于气浮隔振桌.上,样品距离参考镜100mm,光路被遮光罩包裹,房间内空调关闭，以避免气流扰动。

被测物

直径小于参考镜的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。

可靠性与环境要求