GVC-3000热蒸发镀碳仪拥有优秀的溅射系统,可以更换弹射进行蒸镀,实现高要求的细粒涂层。更加适合SEM领域的EDS和WDS应用,GVC系列为您提供优质的样品制备,轻松助您取得更好地材料研究样品, 获得高质量的显微镜观结果MicroHezao电镜制样技术团队,为您提供全套解决方案。
一、产品优势:
1、7英寸TFT触摸屏,全数字显示;
2、全自动控制,一键式操作;
3、4根碳绳交替工作,自动检测通断;
4、连续蒸发、脉冲蒸发两种工作模式;
5、旋转样品台,可手动/自动控制;
6、软硬件互锁、安全可靠。
二、产品参数:
外形尺寸 | 420(L)×330(D)×335(H) mm | 操作界面 | 7 英寸触摸屏、全数字显示 |
蒸发源 | 高纯碳纤维(φ0.8mm) | 蒸发源数量 | 4 根 |
蒸发模式 | 连续蒸发、脉冲蒸发 | 工作模式 | 全自动、手动 |
预热除气 | 有 | 除气挡板 | 全自动 |
真空泵 | 旋片式真空泵 | 真空泵抽速 | 1.1L/s |
真空室 | 高硅硼玻璃 ~φ170×130mm | 极限真空 | ≤1Pa |
样品台 | ≥φ90mm | 工作真空 | ≤2Pa |
样品台旋转 | 手动或自动 | 样品台转速 | 高速、低速两档可调 |
供电 | AC220V/50Hz | 额定功率 | 800W |
蒸发源状态 | 系统上电后自动检测 4 根蒸发源通断情况,并在主界面显示 |
保护功能 | 真空保护、过流保护、过压保护等 |
其它 | 真空、电流、电压可实时曲线 显示 |
选配 | 分子泵(高真空模式)、膜厚监测、温度检测等 |
GVC-3000热蒸发镀碳仪采用模块化设计,设备本身预留了高真空蒸镀功能,用户可自行进行高真空镀膜升级,有效的节省了设备采购的重复性。可实行一机多用。基于对设备更长使用寿命的情况,我们技术团队采取了多种保护功能的匹配,包含真空系统保护,电源系统的保护,以及紧急情况的保护,从设备本身出发避免不必要设备故障的发生。同时我们再设备硬件上也进行了安全设置,具有软件硬件互锁功能,杜绝了不规范操作下,设备的损坏的发生。