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全自动涡流法电阻率F方阻方阻是一种利用电磁感应原理进行检测的方法。当载有交变电流的试验线圈靠近导体工件时，会产生交变磁场，进而在工件中感生出密闭的环状电流，即涡流。涡流的大小、相位及流动形式受到工件性质（如电导率、磁导率、形状、尺寸）及有无缺陷的影响，通过仪器测量这些变化可以判断工件的性质和状态。EFEM（Front End Modules）是半导体设备前端模块的简称，是连接物料搬运系统和硅片处理系统的桥梁。 EFEM的主要功能是在高洁净环境下传输晶圆，确保晶圆能够顺利传输到工艺和检测模块
