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晋中市所在地
brooks GF125密封热式气体质量流量计价格特点:
●长明零点稳定性,每年变动小于满量程的= 0.5%br
●稳定时间极短: 300 ms -<700 ms
●满量程流速高达 300 slpm
●超高纯度流路- 4μ英寸Ra表面处理
●符合 SEMI F20标准的接液材料
●采用高速 ARM处理器的而瘸蚀Haselloy' T.Rise传感器
●可进行快速反 应的无网膜阀胆件不受压差影响,并且测试表明产品经七百万次循环*
●MulbiFloTM 技术拥有的灵活性-一台设备经编程设定后即可满足数千种不同气体和流量测量范
围配置的需求,无需从路上拆除MFC并且不影响精度
●本地显示屏可指示流量, 温度、压力和网络地址以便于轻松解决供的阳脑词故障问题
●DeviceNetTM. RS 485 L.协议和模拟接口
brooks GF125密封热式气体质量流量计优势:
●GF125 系歹产品通过将布鲁克斯仪器的流量传感器技术与能够进行快速反应的无隔膜阀组件相结
合,可将响应速度和稳定速度较之其他质量流量控制器提高3倍,
●经优化的接液流路, 可提升干燥效果
MultiFloTM技术可实现MFC流量测定量程的重新设定,通常是按3:1下调并且不影响精度,量程比或
内涌率,以提供z佳的工艺和库存灵活性
●全面的 体数据库为你提供*泛的气体保护信息
●压力变化补偿 (PTI)功能能够克服传统MFC的限制(受进压力波动影响明显) .产品效果表明其性能
稳定并且可达到预明精度
●便键的用户显示屏和独立的诊断/维护端口有助于设备安装、 监测和故障排除