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通道任选:三路 类型任选:普通型、耐腐蚀型 流量范围: (0.06~2.0)L /min 流量的示值误差:不大于±4%; 说明: ①三路(100~1000)mL/min、(200~ 2000)mL/min、(60~600)mL/min 通道。 ②流量可以根据需要定制 ③本气体流量控制器配备2.5级流量 计,由于溯源温度、压力、气体种类 的差异性,流量计控制误差通常为不 大于±4%。通道任选:三路 类型任选:普通型、耐腐蚀型 流量范围: (0.06~2.0)L /min 流量的示值误差:不大于±4%; 说明: ①三路(100~1000)mL/min、(200~ 2000)mL/min、(60~600)mL/min 通道。 ②流量可以根据需要定制 ③本气体流量控制器配备2.5级流量 计,由于溯源温度、压力、气体种类 的差异性,流量计控制误差通常为不 大于±4%。通道任选:三路 类型任选:普通型、耐腐蚀型 流量范围: (0.06~2.0)L /min 流量的示值误差:不大于±4%; 说明: ①三路(100~1000)mL/min、(200~ 2000)mL/min、(60~600)mL/min 通道。 ②流量可以根据需要定制 ③本气体流量控制器配备2.5级流量 计,由于溯源温度、压力、气体种类 的差异性,流量计控制误差通常为不 大于±4%。