产品介绍

OF系列在线式专用气体过滤器，专为高流量电子级气体超纯净化设计，过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高，与多种半导体工艺气体兼容，尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳，确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒，在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤，满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。

产品特点

▶不锈钢粉末烧结介质，可快速排气

▶整体316L不锈钢结构

▶减少工艺腔体排气时的湍流

▶适用于多种工艺气体

▶洁净室环境内制造、测试、包装

▶100%完整性测试通过

▶100%氦气泄露检测通过

▶耐高温、耐高压、耐腐蚀

▶防止微粒混入，帮助提高产品合格率

▶可根据安装空间进行设计