——计量级精度的高精型流量计

S200高精型气体层流质量流量计向对精度有更高需求的客户提供计量级的精度等级（±0.5%读数精度），通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及核心算法，在低零点、温度、压力漂移量上表现出了更高性能。同时，内置4种标况温度（0℃、15℃、20℃、25℃）可供选择，并实时显示温度、压力、标况流量、工况流量、累计流量五大参数。

量程范围：0.5sccm~5000slpm

特征：

l 原理：层流压差式流量计

l 触屏操作：自由实现更改气体介质、调整混合气体比例和修改部分参数信息

l 高精度：±0.5%读数精度

l 高重复性：±0.1%F.S.

l 宽温度、压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内

l 实时显示5种过程变量

l 内置49种气体和混气测量

使用条件：

l 精度：±0.5%RD（20%～100%量程范围）或 ±0.1％F.S.（≤20%量程范围）（RD-读数 F.S.-满量程）

l 重复性：±0.1%F.S.

l 温度漂移：Zero：≤±0.01%F.S./℃；Span：≤±0.01%F.S./℃（基准温度20℃）

l 压力漂移：Zero：≤±0.02%F.S./100Kpa；Span：≤±0.02%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压))

l 工作流量范围：1%~120%F.S.

l 介质温度：-20℃~60℃

l 环境温度：-20℃~50℃

l 使用湿度：0%~98%（无冷凝）

l 工作压力：1Mpa

l 耐压：1.5Mpa

l 供电电压：24V ±20%

l 消耗电流：＜150mA   (供电电压为24v时)

l 安装方式：任意角度

l 进出口：内螺纹（管螺纹）

l 接气部材质：SUS304，SUS316L

l 接气部密封材质：橡胶圈密封：氟橡胶

应用场景

l 流量校准：流量校准台的标准表、流量校准台的比对、量值传递、实验室设备的流量校准等

l 计量：稀有气体局部或整体系统流量使用量的监控、贸易结算等

S200高精型气体层流质量流量计适用于对流量计精度有更高需求的客户，具有高精度和高重复性。