易度智能MC100系列，是一款应用金刚石CVD气体质量流量控制器，其可用多种气体，具有高精度、高重复性、快速响应、高稳定性等优势。

特征：

l 原理：层流压差式原理

l 便捷操作：提供上位机软件设定流量。

l 核心优势：单机可用多种气体，较快的响应时间，并且可以设定后自主运行的性能

l 宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内

l 实时显示4种过程变量

l 内置60多种气体，简单切换气体，无需查找、输入系数，可自主编辑混合气体

l 无需预热时间，开机即可使用，减少贵重气源浪费。

产品规格：

l 产品型号：MC100

l 量程范围：0.5sccm~500slpm

l 阀门种类：N/C（常闭型）

性能参数：

l 精度：±1.0%S.P.(设定值)(20%～100%量程范围)   ±0.2%F.S.(满量程)(1%～10%量程范围)

l 重复精度：±0.2%F.S.

l 压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100kPaA；    Span：≤±0.2%F.S./100kPaA（基准100kPaA)

l 温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度25℃）

l 零点漂移：±0.2%F.S./年

l 工作范围：1%~100%F.S.

l 响应时间：≤700ms.

l 启动预热时间：1s

使用条件：

l 介质温度：-20℃~60℃

l 环境温度：-20℃~50℃

l 使用湿度：0%~98%（无冷凝）

l 工作压力：0~1Mpa

l 耐压：1.5Mpa

l 工作压差范围：100kPa~600kPa

l 供电电压：24V±20%

l 消耗电流：＜500mA （＜12V）

l 安装方式：任意角度

l 接气部材质：SUS316L

l 进出口：管螺纹（内螺纹）

l 接气部密封材质：橡胶圈密封：氟橡胶

通讯方式：

l 数字信号：RS485，Profibus

l 模拟信号：4-20mA，0-5V

应用场景

l 金刚石生产过程中的气体流量控制

l CVD设备中的气体流量控制

l 化学气相沉积中的气体流量控制

MC100应用金刚石CVD气体质量流量控制器内置多种气体，方便用户使用。快速响应可迅速纠偏，抗气源压力波动，层流压差原理使得产品具有较高的可靠性和稳定性。内置高精度的温度和压力传感器，确保产品具有极低的温漂和压漂，长期稳定性较好，产品连续在线工作控制准确度和稳定性好。